晶圆保护液:用于雷射切割制程前,先涂布保护剂再做雷射切割,能够防止残屑回沾,防止雷射烧焦切割道,保护基板表面。因为是水溶性,切割后能够以清水清除保护剂。也可应用在基板表面防止刮伤保护与黏着材料(胶带)附着抑制 适用产业:半导体wafer / LED
临时键合胶(Temporary Bonding Adhesive,TBA)是把晶圆和临时载板粘结在一起的中间层材料,热稳定性、化学稳定性、粘接强度、机械稳定性、均一性等是临时键合胶的关键选择因素。根据解键合方式的不同,可分为热解胶,机械解键合胶,激光牺牲层,化学解键胶。
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